ISO 14644 根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)唯一指標(biāo)來劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí),并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。
根據(jù)粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn): ISO14644-1 (國(guó)際標(biāo)準(zhǔn))
空氣潔凈度等級(jí)(N) |
大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值(個(gè)/每立方米空氣粒子) |
|||||
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
1um |
5 um |
|
ISO Class 1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 |
|
ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
ISO Class 7 |
|
352 000 |
83 200 |
2 930 |
||
ISO Class 8 |
|
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
||
ISO Class 9 |
|
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
||
注:由于涉及測(cè)量過程的不確定性,故要求用不超過三個(gè)有效的濃度數(shù)字來確定等級(jí)水平。 |
空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn): GB/T16292-1996 (中國(guó)標(biāo)準(zhǔn))
粒徑、數(shù)值潔凈度級(jí)別 |
塵埃最大允許數(shù)/立方米 |
微生物最大允許數(shù) |
||
≥0.5um |
≥5um |
浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
|
100 級(jí) |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
10,000 級(jí) |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100,000 級(jí) |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300,000 級(jí) |
10,500,000 |
60,000 |
— |
15 |
美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209D 潔凈室分級(jí):(已停用)
空氣潔凈度等級(jí)(N) |
大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值(個(gè)/每立方米空氣粒子) |
||||
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
5 um |
|
1 |
35 |
7.5 |
3 |
1 |
|
10 |
350 |
75 |
30 |
10 |
|
100 |
|
750 |
300 |
100 |
|
1000 |
|
|
|
1000 |
7 |
10000 |
|
|
|
10000 |
70 |
100000 |
10000 |
700 |
英國(guó) 5295 標(biāo)準(zhǔn)潔凈室和空氣凈化裝置分級(jí):
空氣潔凈度等級(jí)(N) |
大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值(個(gè)/每立方米空氣粒子) |
||||
0.3um |
0.5um |
5um |
10um |
25 um |
|
C |
100 |
35 |
0 |
|
|
D |
1000 |
350 |
0 |
||
E |
10000 |
3500 |
0 |
||
F |
|
3500 |
0 |
||
G |
100000 |
35000 |
200 |
0 |
|
H |
|
35000 |
200 |
0 |
|
J |
|
350000 |
2000 |
450 |
0 |
K |
|
3500000 |
20000 |
4500 |
500 |
L |
|
|
200000 |
45000 |
5000 |
M |
|
450000 |
50000 |
各種國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的比較:
美國(guó)聯(lián)邦 |
美國(guó)聯(lián)邦 |
英國(guó)標(biāo)準(zhǔn) |
澳大利亞標(biāo)準(zhǔn) |
法國(guó)標(biāo)準(zhǔn) |
德國(guó)標(biāo)準(zhǔn) |
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) |
日本標(biāo)準(zhǔn) |
標(biāo)準(zhǔn) 209D |
標(biāo)準(zhǔn) 209E |
BS5295 |
AS1386 |
AFNORX44101 |
VDI2083 |
14644-1 |
JACA24 |
|
|
|
|
|
|
1 |
1 |
|
|
|
|
— |
0 |
2 |
2 |
1 |
M1.5 |
C |
0.035 |
— |
1 |
3 |
3 |
10 |
M2.5 |
D |
0.35 |
— |
2 |
4 |
4 |
100 |
M3.5 |
E |
3.5 |
4000 |
3 |
5 |
5 |
1000 |
M4.5 |
G |
35 |
— |
4 |
6 |
6 |